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第四代半導體再突破,我國團隊在8英寸硅片上制備出高質量氧化鎵外延片
2023-03-15 03:19      來源:IT之家      編輯:蘇小糖      閱讀量:13307   

團隊負責人陳海峰教授介紹,氧化鎵是一種超寬禁帶半導體材料,具有優異的耐高壓與日盲紫外光響應特性,在功率器件和光電領域應用潛力巨大。硅上氧化鎵異質外延有利于硅電路與氧化鎵電路的直接集成,同時擁有成本低和散熱好等優勢。

氧化鎵是一種新型超寬禁帶半導體材料,是被國際普遍關注并認可已開啟產業化的第四代半導體材料。與前代半導體材料相比,氧化鎵材料具備更高的擊穿電場強度與更低的導通電阻,從而能量損耗更低,功率轉換效率更高。另外,氧化鎵具有良好的化學和熱穩定性,成本低,制備方法簡便、便于批量生產,在產業化方面優勢明顯。

近年來,我國在氧化鎵的制備上連續取得突破性進展,從去年的 2 英寸到 6 英寸,再到最新的 8 英寸,氧化鎵制備技術越來越成熟。

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