，據(jù)東方晶源發(fā)布，最近幾天，東方晶源首臺(tái) 8 英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)裝備出機(jī)國(guó)內(nèi)集成電路制造和整體方案提供商燕東微電子自 2021 年 6 月首臺(tái) 12 英寸 CD—SEM 出機(jī)后，東方晶源在電子束量測(cè)領(lǐng)域再次取得重大進(jìn)展
東方晶源首臺(tái) 8 英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備基于東方晶源 12 英寸關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備的技術(shù)積累，面向 90nm 以上技術(shù)節(jié)點(diǎn)的成熟工藝具有對(duì)標(biāo) 12 英寸主流設(shè)備的成像分辨率，百微米級(jí)大視場(chǎng)成像能力，多樣化量測(cè)算法，可以滿足客戶對(duì)不同產(chǎn)品線，多種應(yīng)用場(chǎng)景下的量測(cè)需求以關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備為例，目前市場(chǎng)上流通的 8 英寸設(shè)備絕大多數(shù)是二手翻新設(shè)備，具有性能指標(biāo)不高及設(shè)備穩(wěn)定性差等問(wèn)題東方晶源旨在解決些問(wèn)題
公開(kāi)信息顯示，東方晶源是國(guó)內(nèi)電子束檢測(cè)，量測(cè)設(shè)備領(lǐng)先廠商，曾承擔(dān)國(guó)家 02 重大專項(xiàng) — 電子束硅片圖形缺陷檢測(cè)設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目并驗(yàn)收通過(guò)，首臺(tái)套電子束缺陷檢測(cè)設(shè)備已完成產(chǎn)線驗(yàn)證并獲得重復(fù)訂單東方晶源在電子束檢測(cè)，量測(cè)領(lǐng)域已填補(bǔ)多項(xiàng)國(guó)內(nèi)空白目前該公司已經(jīng)和國(guó)內(nèi)大部分主要晶圓代工企業(yè)建立了合作關(guān)系
，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥于當(dāng)?shù)貢r(shí)間2月9在2021年財(cái)報(bào)中宣稱，中國(guó)企業(yè)東方晶源(DongFangJingYuanElectron，DFJY)正在中國(guó)積極銷售可能(couldpotentially)侵犯該公司知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。 鄭重聲明：此文內(nèi)容為本網(wǎng)站轉(zhuǎn)載企業(yè)宣傳資訊，目的在于傳播更多信息，與本站立場(chǎng)無(wú)關(guān)。僅供讀者參考，并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。
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